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水冷板氦检机
产品介绍：
检测节拍:≤47s/pcs (包括上下料及装夹时间)，其中须保证人工上下料时间≤S14s
产品检测漏率: 0.1ML/MIN≈1.67E-3mbar.l/s；10%氦气漏率为: 1.67E-4mbar.l/s
检漏仪可检最低漏率: 1.0x10-9pa.m3/s；设备可检最低漏率: 1.0x10-7pa.m3/s
设备有二维条码打印功能，数据精确追溯
设备配有自动打标系统，工件在真空箱内部完成检测后如工件漏率合格则设备自动在工件指定位置打点
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