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传感器氦检机
产品介绍：
检测节拍：≤5秒/件（不含机械手时间）
产品漏率标准：1.00E-05mbar L/s
设备精度：1.00E-08mbar L/s
测量数值应在设备上显示，数据可存储到本地及上传 MES
该设备采用自动上下料，上料后设备会自动开关检测真空箱、工装自动密封工件并自动完成检漏工作。
各工站配备气源通断开关，人工操作站配光栅+急停，自动站配安全门开关+急停
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