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空气弹簧氦检机
产品介绍：
整机工作节拍:约30s/件
氦检充气压力：10bar，检大漏充氮气压力为 8.5bar (暂定)
产品漏率：2.5E-5mbarl/s (多种)，设备精度可达 1E-7Pam3/s
真空箱数量：3只，每个真空箱检测一个工件，机械手上下料，每个工件独立追溯
检漏仪开检真空度(真空箱)：≤20Pa(绝对压力)
产品抽空压力：约1000pa(绝对压力)
氦气浓度 70%，测试完成后氦气回收
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