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EH PEU Gen3氦检设备
产品介绍：
检测节拍：≤60s/件
充氦压力：abs IBar∽abs 4Bar
检测精度：最小检测氦漏率 1.0E-9mbar.L /s
检测方式：真空箱式氦质谱检漏
上下料方式:手动
真空箱抽真空压力能力:20Pa(abs)
工件抽真空压力能力:1000Pa (abs，压力可调)
设备自检功能:真空腔气密性自检、系统自检
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