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PEUevo氦检设备
产品介绍：
检测节拍:36s/件
系统可检测的最低漏率：1.0x10-8mbarl/s
测试介质：氦气纯度>99.999%
真空箱可达到真空压力：<0.2mbar
测试环境和产品温度要求：15C~45C
泄漏率判据：泄漏量要求在0到0.05 ml/min (测试部件相对测试环境压力 2.5~2.6 bar
条件下)
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